Fotolithografie: So funktioniert ein Wafer-Stepper

Ein ultravioletter Lichtstrahl (UV-Licht) durchleuchtet die Maske und projiziert das Layout der Schaltung auf den Wafer. Eine Optik aus zahlreichen Linsen verkleinert das Lichtbild der Schaltung, so dass es scharf und in der richtigen Größe auf dem Wafer erscheint.
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